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FZ-30和FZ-35 區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

FZ-30FZ-35區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)中,可以分別以高達(dá)3 bar5 bar的超壓產(chǎn)生氬氣氣體,用以培育大晶體。同時(shí),上主軸和線圈都可實(shí)現(xiàn)自動定位。在FZ-30中,上主軸可以在XY方向上移動。兩種系統(tǒng)類型都能夠以受控方式將氮?dú)庖牍に嚑t體。PVA TePla為您提供更多個(gè)性化選擇,例如用于摻雜晶體的氣體摻雜系統(tǒng)、封閉式去離子冷卻水系統(tǒng)、源棒的修整器和調(diào)整籽晶方向的系統(tǒng)。

產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:

材料:硅

晶體

晶體拉動長度: 2,700 mm

晶體直徑: 長達(dá) 200 mm (8")

極限真空度: 2.5 x 10-5 mbar

最大過壓: FZ-30: 3.0 bar(g)

FZ-35: 5.0 bar(g)

發(fā)電機(jī)

輸出電壓: 120 kW

頻率: 2.4 MHz

上軸

進(jìn)料速度: 高達(dá) 30 mm/min

上部旋轉(zhuǎn): 高達(dá) 30 rpm

下軸

拉動速度: 最高 30 mm/min

下部旋轉(zhuǎn): 最高 30 rpm

尺寸規(guī)格

高度: 11,550 mm

寬度: 3,800 mm

深度: 4,050 mm

面積(總計(jì)): 5,000 x 6,000 mm

重量(總計(jì)): 14,000 kg區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法為生產(chǎn)高電阻率的超純硅單晶提供了技術(shù)可行性,該技術(shù)可應(yīng)用于高性能電子和半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。其另一優(yōu)點(diǎn)是可以從氣相中連續(xù)摻入,這使得在整個(gè)晶體的電阻率沿長度方向保持一致。因此,幾乎可以在整個(gè)晶體上均勻地實(shí)現(xiàn)所需的電性能。由于電荷載流子的高壽命和極低的氧含量(無坩堝工藝),FZ晶體同樣也適用于光伏行業(yè)。

區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法與CZ直拉工藝等競爭方法相比,FZ工藝的優(yōu)勢在于只有緊鄰感應(yīng)線圈的一小部分晶體需要被熔化,無需使用石英坩堝(每爐次耗用一個(gè)),可實(shí)現(xiàn)高拉速,因此降低了耗材成本的同時(shí)也降低了能源成本。此外,無論是從硅還是其他合適的材料中提取的晶體,可以通過多次處理,顯著地提高純度。





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