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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>氧化擴(kuò)散設(shè)備>THEORIS X302系列 12英寸立式中高溫氧化爐

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THEORIS X302系列 12英寸立式中高溫氧化爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 北方華創(chuàng)
  • 型號(hào) THEORIS X302系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2024/9/4 14:34:33
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 679

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

THEORIS X302主要用于12英寸600℃-1200℃氧化及退火工藝。該機(jī)臺(tái)為立式單腔爐管系統(tǒng),工藝處理過(guò)程實(shí)現(xiàn)了高度自動(dòng)化。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。

2. 設(shè)備應(yīng)用

  晶圓尺寸

  12英寸

 

  適用材料

  硅

 

  適用工藝

  高溫干/濕氧氧化、DCE氧化、摻氮氧化、高溫退火

 

  適用領(lǐng)域

  先進(jìn)集成電路、功率半導(dǎo)體、襯底材料

 

3. 特色參數(shù)

濕氧氧化工藝是在氧氣中加入水汽來(lái)進(jìn)行氧化反應(yīng)。北方華創(chuàng) THEORIS X302 氧化爐設(shè)備在濕氧氧化工藝中表現(xiàn)出色。它能夠精確控制水汽的含量和輸入方式,以實(shí)現(xiàn)對(duì)氧化膜生長(zhǎng)速率和質(zhì)量的精準(zhǔn)調(diào)控。在溫度控制上,同樣具備高精度的特點(diǎn),確保在濕氧環(huán)境下硅片受熱均勻,從而形成均勻、致密的氧化膜。氣體流量的調(diào)節(jié)也非常精準(zhǔn),能夠根據(jù)工藝需求靈活調(diào)整氧氣和水汽的比例,滿(mǎn)足不同產(chǎn)品對(duì)濕氧氧化工藝的特殊要求。其優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和重復(fù)性,使得濕氧氧化工藝的結(jié)果可預(yù)測(cè)且可靠。

 

  4.設(shè)備特點(diǎn)

  先進(jìn)的顆??刂萍夹g(shù)

  先進(jìn)的金屬污染控制技術(shù)

  高精度溫度場(chǎng)控制技術(shù)

  支持快速升/降溫度技術(shù)

  高產(chǎn)能


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