化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備> KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)
KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)
| 參考價 | ￥50000-￥999999/臺 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2025/3/9 22:27:01
- 訪問次數(shù) 6
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KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)可以檢測不透明、半透明和透明晶圓（包括玻璃、單面拋光藍(lán)寶石、雙面拋光藍(lán)寶石）的表面缺陷和微粒；滑移線；砷化鎵和磷化銦的凹坑和凸起；表面haze map；以及鉭酸鋰、鈮酸鋰和其他先進(jìn)材料的缺陷。KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)用于化合物半導(dǎo)體工藝控制（晶圓清潔、外延前后）。其先進(jìn)的多通道設(shè)計提供了比單通道技術(shù)更高的靈敏度。CS20R配置的光學(xué)器件經(jīng)過優(yōu)化，可用于檢測化合物半導(dǎo)體材料，包括光敏薄膜。
功能
檢測直徑達(dá)200毫米不透明、半透明和透明化合物半導(dǎo)體材料上的缺陷
手動模式支持掃描不規(guī)則晶圓
支持各種晶圓厚度
適用于微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污等宏觀缺陷
應(yīng)用案例
襯底質(zhì)量控制
襯底供應(yīng)商對比
入廠晶圓質(zhì)量控制(IQC)
出廠晶圓質(zhì)量控制(OQC)
CMP（化學(xué)機(jī)械拋光工藝）/拋光工藝控制
晶圓清潔工藝控制
外延工藝控制
襯底與外延缺陷關(guān)聯(lián)
外延反應(yīng)器供應(yīng)商的對比
工藝機(jī)臺監(jiān)控
行業(yè)
包括垂直腔面發(fā)射激光器在內(nèi)的光子學(xué)
LED
通信（5G、激光雷達(dá)、傳感器）
其他化合物半導(dǎo)體器件
選項(xiàng)
SECS-GEM
信號燈塔
金剛石劃線
校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)
離線軟件
光學(xué)字符識別(OCR)
CS20R配置用于檢測光敏薄膜
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