KLA NanoFlip納米壓痕儀
| 參考價(jià) | ￥50000-￥999999/臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號(hào)
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間2025/3/10 2:30:38
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 16
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 納米壓痕儀 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,電氣,綜合 |
KLA NanoFlip納米壓痕儀配備高精度的XYZ移動(dòng)馬達(dá)，以定位樣品進(jìn)行測(cè)試，并配備翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，以定位樣品進(jìn)行觀(guān)察成像。InView軟件標(biāo)配一套包括多種測(cè)試協(xié)議的測(cè)試方法，KLA NanoFlip納米壓痕儀且支持用戶(hù)創(chuàng)建自己的測(cè)試方法。InForce 50作動(dòng)器在真空和氣氛條件下表現(xiàn)同樣出色。InView 軟件可以記錄SEM或其它顯微鏡圖像，并與力學(xué)測(cè)試數(shù)據(jù)同步。革命性的FIB-to-Test技術(shù)容許將樣品傾斜90°，實(shí)現(xiàn)從FIB到壓痕測(cè)試的無(wú)縫轉(zhuǎn)換，而無(wú)需重新安裝樣品。
產(chǎn)品特色
InForce 50作動(dòng)器采用電容式位移傳感和電磁力驅(qū)動(dòng)，且壓頭易于更換
InQuest高速控制器電路，數(shù)據(jù)采集速率可達(dá)100kHz，時(shí)間常數(shù)最快為20µs
XYZ運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)樣品定位
SEM視頻采集實(shí)現(xiàn)SEM圖像和力學(xué)測(cè)試數(shù)據(jù)同步
壓頭校準(zhǔn)系統(tǒng)，集成在軟件中，可實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的壓頭校準(zhǔn)
InView設(shè)備控制和數(shù)據(jù)處理軟件，與Windows®10兼容，可選測(cè)試方法開(kāi)發(fā)工具，實(shí)現(xiàn)用戶(hù)自定義實(shí)驗(yàn)
產(chǎn)品應(yīng)用
硬度和模量測(cè)試（基于Oliver-Pharr模型）
連續(xù)剛度測(cè)量
快速材料力學(xué)性能成像
ISO 14577硬度測(cè)試
納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DMA)
定量劃痕和磨損測(cè)試
適用行業(yè)
大學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)室和研究所
微柱和微球制造
MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
材料制造（壓縮/拉伸/斷裂測(cè)試）
電池和組件制造
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