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電動真空位移臺采用了適合真空度高達(dá)10^-6乇的真空步進(jìn)電機(jī)，所有的機(jī)械部件都使用高度真空兼容潤滑脂潤滑,是高精度電動真空位移平臺,電動真空臺。
電動真空位移臺充分考慮真空工藝處理，鋁零件沒有進(jìn)行過陽極氧化處理,電動真空位移臺在裝運(yùn)發(fā)送之前在真空室中進(jìn)行清洗和包裝，用戶購買后可立即置入真空環(huán)境中不會破壞真空環(huán)境。

電動真空位移臺產(chǎn)品規(guī)格
模型    8MT173V-10      8MT173V-20      8MT173V-25     8MT173V-30
移動距離，mm     10     20     25     30
絲杠螺距，mm     0.25
全步進(jìn)分辨率*，µm     1.25
最大速度*，mm/s     2.5
載重量：
     水平， kg     3
     垂直，kg     1
fleuroplastic電纜                   集成，長2m
電機(jī)連接器                             HDB15(M)
電機(jī)                      VSS42
重量，kg     0.42     0.48     0.49     0.5
裝配組件：
X-Y     2CP173V-20
Z             2AB173V-20
控制器推薦               8SMC4-USB

電動真空位移臺配備有高度真空兼容的Sub-D接口連接器,9或15針連接器,連接器是玻璃制成，里面填充的是聚合物，外殼是不銹鋼，適用于高度真空10^-6毫巴和溫度高達(dá)110°C的環(huán)境。
高度真空Sub-D連接器的規(guī)格：
真空：10-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：- 55°C至110°C
針材質(zhì)：鍍金銅合金
提供其他尺寸大小的連接器和真空密封裝置。