SPECEL系列橢偏儀和常規(guī)橢偏儀相比，SPECEL系列橢偏儀要便宜一半左右，并且還具有以下特點，系統(tǒng)集成了光源、導光器件，可旋轉(zhuǎn)的偏光鏡、樣品臺、CCD陣列光譜儀等器件，其光源入射角設定在70°，但用戶可根據(jù)需要設定為65到75°，整套儀器想當小巧，尺寸僅為52cm*33cm*24cm。

的特點：

膜厚準確度在1nm，精度在0.1nm
可測量多達25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um，450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm，光學分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測量，如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項包括2D位移功能，標準晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲和載入不同的測量組合模式

的技術指標：