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SPECEL系列橢偏儀

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  • 北京征程創(chuàng)拓科技有限公司
  • 2024-11-14 10:05:31
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【簡單介紹】

SPECEL系列橢偏儀SPECEI-2000是一款應用橢圓偏光原理的臺式薄膜測量系統(tǒng),適用于平面多層膜厚測量,如晶片、玻璃片等。分光橢偏儀可以測量光的多層反射,除了強度之外,也可以測量相對的相位和振幅變化,利用這種技術可以同時對多種參數(shù)進行測量。

【詳細說明】

SPECEL系列橢偏儀和常規(guī)橢偏儀相比,SPECEL系列橢偏儀要便宜一半左右,并且還具有以下特點,系統(tǒng)集成了光源、導光器件,可旋轉(zhuǎn)的偏光鏡、樣品臺、CCD陣列光譜儀等器件,其光源入射角設定在70°,但用戶可根據(jù)需要設定為65到75°,整套儀器想當小巧,尺寸僅為52cm*33cm*24cm。

的特點:

膜厚準確度在1nm,精度在0.1nm
可測量多達25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um,450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm,光學分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測量,如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項包括2D位移功能,標準晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲和載入不同的測量組合模式

的技術指標:

    
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