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特征

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• 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作
• 采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均強(qiáng)場(chǎng)分布
• 磁體表面涂有一層保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長(zhǎng)其使用壽命
• 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配
• 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作
• 更換靶材較為簡(jiǎn)單，無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度

所需功率

• DC（zui大）1000W
• RF（zui大）500W

zui大濺射電流

3A

濺射電壓

100-1000 V

濺射時(shí)腔體真空度

5-100 mTorr

濺射均勻性曲線圖

尺寸

• 陽(yáng)極護(hù)套直徑：3.5英寸
• 總長(zhǎng)度：14英寸

靶材

• 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
• 厚度: 對(duì)于非磁性靶材，zui大厚度為1/4英寸
            對(duì)于磁性靶材，zui大厚度為1/16英寸
• 靶材利用率：30%
• 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水

• 流速:   0.8 GPM
• 進(jìn)水溫度:<20 ℃
• 水管:0.25" OD.

可選配件

• 當(dāng)同時(shí)購(gòu)買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時(shí)，本公司會(huì)贈(zèng)送一高真空快速接頭
• 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
   
• 循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L / min ，水箱容積為6L
  

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)