目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 雙溫區(qū)開啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F
OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.
技術(shù)參數(shù)
殼體結(jié)構(gòu) |
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功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
zui高工作溫度 | 1200 ℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100 ℃ |
zui大升溫速率 | <= 20 ℃ /min |
爐管尺寸和材質(zhì) | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區(qū)長度 |
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恒溫區(qū)長度 | 150mm (+/-1oC) |
溫度控制器
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控溫精度 | +/- 1oC |
真空密封系統(tǒng)
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真空泵
| 采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。 |
數(shù)字式真空表 |
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混氣系統(tǒng)
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閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝移動架的側(cè)面板上分別在三個氣體的入口處 |
尺寸 | 爐子: 550 x 380 x 520 移動架: 600x600x597 |
凈重 | 約60KG |
運輸重量 | 600 lbs |
運輸包裝尺寸 | Two cases in one pallet: 45x45x35/case |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件 |
質(zhì)量認證 |
CE Certificate |