產(chǎn)品編號(hào)： 4239494016
產(chǎn)品名稱： 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61
規(guī)　　格： MX61
產(chǎn)品備注： 產(chǎn)地：日本
產(chǎn)品類別： 光學(xué)測(cè)量?jī)x器


江西南昌半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡產(chǎn) 品 說 明
能夠應(yīng)對(duì)從明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)亮度光圈連動(dòng)能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)。這些功能實(shí)現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。

UIS2物鏡形成的鮮明的觀察影像
考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
支持缺陷檢測(cè)的多種功能
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件

UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。

zui大程度校正了色差的平面復(fù)消色差物鏡。是世界上*以95%以上的彌散比例保證了光學(xué)性能（波像差）的通用型號(hào)物鏡。對(duì)應(yīng)微分干涉觀察、簡(jiǎn)易偏振光觀察和AF單元（奧林巴斯U-AFA2MA產(chǎn)品）。

有著高水準(zhǔn)的色差校正的半復(fù)消色差透鏡設(shè)計(jì)的通用物鏡。不僅在明視場(chǎng)觀察中，在熒光、微分干涉和簡(jiǎn)易偏振光觀察中都能發(fā)揮性能。明暗視場(chǎng)觀察請(qǐng)使用BD系列產(chǎn)品。

特別在偏振光、微分干涉觀察中能發(fā)揮性能的通用物鏡。

在對(duì)比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng)，用一個(gè)按鈕就可以操作。此外，用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對(duì)焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知，能夠防止錯(cuò)誤操作。

為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢(shì)進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對(duì)應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢(shì)，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長(zhǎng)了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。

MX61能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合，組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存可以在手中快速完成。

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。

每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)亮度光圈（AS）的話，會(huì)影響檢查速度。MX61對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級(jí)），僅切換物鏡就能以zui合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。

對(duì)應(yīng)200 mm晶圓的MX-SIC8R采用了內(nèi)置離合器的載物臺(tái)夾子，可切換粗調(diào)和細(xì)調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái)，從而提高了檢查速度。

根據(jù)的DUV光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了減少光暈、圖像分辨極限達(dá)80nm的高對(duì)比度影像?？梢栽诘捅堵士梢姽饩€到DUV環(huán)境下進(jìn)行連續(xù)觀察。

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對(duì)應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號(hào)。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。

江西南昌
機(jī)身 觀察方法 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光
反射/透射 反射/透射
照明裝置 機(jī)身一體型（明視場(chǎng)，暗視場(chǎng)＋1選件）
照明系統(tǒng) 反射照明 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明 纖維光導(dǎo)
對(duì)焦單元 電動(dòng)/手動(dòng) 手動(dòng)
行程 32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm
zui大樣本高度 30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器 電動(dòng)型 明視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔
手動(dòng)式 -
載物臺(tái) 行程 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm
觀察筒 廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22） 倒置 雙目/三目觀察筒
正像 三目觀察筒
超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5） 倒置 三目觀察筒
正像 傾斜三目觀察筒
附件單元 DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸 509（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合）
重量 40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合