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皮米精度位移激光干涉器 - attoFPSensor
| attocube公司生產(chǎn)的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業(yè)和科研需要，其緊湊的設(shè)計和穩(wěn)定性可以在惡劣環(huán)境中使用，在很大的位移測量范圍內(nèi)，達到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率，應(yīng)用范圍遍及閉環(huán)掃描器校準(zhǔn)、樣品或模塊位移、加工業(yè)、引擎位移探測等域。 |
| + 簡單易用，attoFPSensor自動軟件控制與校準(zhǔn) + 測量速度快，attoFPSensor定位樣品采樣帶寬10MHz，分辨率25pm + 實時數(shù)據(jù)采集界面，attoFPSensor用Ethernet或HSSL實現(xiàn)定位數(shù)據(jù)的實時輸出 + 多軸同時測量，attoFPSensor配有立的三軸定位器，允許同時位移測量、數(shù)據(jù)處理、和定位輸出 + 精度*，attoFPSensor鎖定分子吸附頻率做參考值，得到的定位信息具有測量學(xué)意義 + 上小體積的位移測量干涉器，15mm直徑和12mm長 |
| 長時間使用仍可保持picometer穩(wěn)定度和精度 | 探測目標(biāo)振動簡單可靠 |
在20mm工作距離下，其2σ為0.286nm 在70mm工作距離下，其2σ為0.530nm； 在120mm工作距離下，其2σ為1.035nm |
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| attoFPSensor技術(shù)點 | attoFPSensor*勢 |
+ 多維度位移干涉器 + 完備的系統(tǒng)配置 + 實時數(shù)字化界面 + 高速FPGA控制單元 + 10MHz采樣速率 + 大1m/s樣品位移速率，可選配更快速率 + 基于單模光纖的探測器 + 兼容真空與惡劣環(huán)境 | + 高帶寬位移探測 + 閉環(huán)位移控制 + MHz范圍內(nèi)的振動測量 + 目標(biāo)樣品熱負載<75uW + 探測器無需進行電子器件鏈接 + 工業(yè)化設(shè)計 + 其可靠與穩(wěn)定
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