9
Lake Shore的CRX-EM-HF是一款無液氦閉循環(huán)制冷的探針臺，它增加了一個±0.6 T水平方向磁場的電磁鐵，所有標準的C-V、I-V、微波和電光探測，加上面內(nèi)水平場電磁測量，都可以在CRX-EM-HF多功能探針臺上進行。研究人員可以使用CRX-EM-HF來測試磁輸運參數(shù)，ST-FMR等。它是Lake Shore眾多探針臺中可用于矢量相關(guān)磁輸運測量的無液氦低溫探針臺。為了最大限度地提高樣品的磁場，CRX-EM-HF的探針配置為30°傾角，用于探測直徑達25mm（1英寸）的晶圓片。
CRX-EM-HF使用獨立的閉循環(huán)制冷機，開機后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。360°旋轉(zhuǎn)樣品臺選項允許測量角度相關(guān)和各向異性的磁輸運特性。
主要特征：
√ 溫度范圍8 K~400 K
√ 水平磁場±0.6 T
√ 最大1英寸（25.4 mm）樣品
√ 無需系統(tǒng)降溫即可施加磁場
√ 樣品360°旋轉(zhuǎn)磁各向異性測試
設(shè)備參數(shù)：
| 磁場 | |
| 磁體類型 | 電磁鐵 |
| 磁場方向 | 水平方向（平行于樣品面） |
| 磁場控制 | 霍爾探頭安裝在探針臺內(nèi)用于磁場閉環(huán)控制 |
| 磁場大小 | 最大±6 kOe (±0.6 T) |
| 磁場均勻性 | 0.6% 10 mm直徑；2.6% 25 mm直徑 |
| 探針針尖移動 | <5μm 整個磁場范圍內(nèi) |
| 溫度范圍 | |
| 最多安裝4個探針臂 | 基礎(chǔ)溫度8 K，控制溫度范圍10 K~400 K |
| 溫度穩(wěn)定性 | |
| 基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | 未說明 |
| <10 K | ±50 mK |
| 10 K ~ 350 K | ±20 mK |
| 351 K ~ 400 K | ±50 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵為標準 |
| 抽真空時間 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室溫下 | <5 × 10-4 Torr |
| 基礎(chǔ)溫度下 | <1 × 10-5 Torr |
| 最高溫度下 | <5 × 10-4 Torr |
| 循環(huán)時間 | |
| 總循環(huán) | 4.5 h |
| 抽真空 | 0.5 h |
| 探針臺冷卻 | 2.25 h |
| 探針臺升溫 | 1.75 h |
| 樣品 | |
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
| 樣品背光接口 | 不可選 |
| 樣品旋轉(zhuǎn) | 360°樣品旋轉(zhuǎn)選件(PS-360-EMPX) |
| 樣品振動 | ＜1 μm |
| 探針配置 | |
| 最大探針數(shù) | 4 |
| 探針臂溫度計 | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 |
| 冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) |
| 探針支架 | 連接樣品臺熱沉 |
| 探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 |
| DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 |
| 微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz |
| 光纖探針 | 可用于電光測量 |
| 落針范圍 | 所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 |
