會(huì)員.png)
9
Lake Shore的EMPX-H2探針臺(tái)增加了一個(gè)±0.6 T水平方向磁場的電磁鐵，所有標(biāo)準(zhǔn)的C-V、I-V、微波和電光探測，加上面內(nèi)水平場電磁測量，都可以在EMPX-H2探針臺(tái)上進(jìn)行。研究人員可以使用EMPX-H2來測試磁輸運(yùn)參數(shù)，ST-FMR測試等。它是Lake Shore探針臺(tái)中用于矢量相關(guān)磁輸運(yùn)測量的低溫探針臺(tái)。
為了最大限度地提高樣品磁場，EMPX-H2的探針配置為30°傾角，用于探測直徑達(dá)25mm（1英寸）的晶圓片。360°旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)選項(xiàng)允許測量角度相關(guān)和各向異性的磁輸運(yùn)特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行，配置低溫選件可將基本溫度擴(kuò)展至3.2 K。EMPX-H2采用連續(xù)流制冷，可使用液氦或液氮進(jìn)行冷卻。
主要特征：
√ 溫度范圍4.5 K~400 K
√ 可選低溫3.2 K
√ 水平磁場±0.6 T
√ 最大1英寸（25.4 mm）樣品
√ 無需系統(tǒng)降溫即可施加磁場
√ 樣品360°旋轉(zhuǎn)磁各向異性測試
設(shè)備參數(shù)：
| 磁場 | ||
| 磁體類型 | 電磁鐵 | |
| 磁場方向 | 水平方向（平行于樣品面） | |
| 磁場控制 | 霍爾探頭安裝在探針臺(tái)內(nèi)用于磁場閉環(huán)控制 | |
| 磁場大小 | 最大±6 kOe (±0.6 T) | |
| 磁場均勻性 | 0.6% 10 mm直徑；2.6% 25 mm直徑 | |
| 探針針尖移動(dòng) | <5 μm 整個(gè)磁場范圍內(nèi) | |
| 溫度范圍 | ||
| 最多安裝4個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.5 K，控制溫度范圍5 K~400 K | |
| 安裝PS-LT低溫選件 | 基礎(chǔ)溫度3.2 K，控制溫度范圍3.3 K~400 K | |
| 溫度穩(wěn)定性 | 液氦 | 液氮 |
| 基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | ±20 mK | ±50 mK |
| <10 K | ±50 mK | — |
| 10 K ~ 100 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 101 K ~ 250 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 251 K ~ 400 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵為標(biāo)準(zhǔn) | |
| 抽真空時(shí)間 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | |
| 室溫 | <5 × 10-4 Torr | |
| 基礎(chǔ)溫度 | <1 × 10-5 Torr | |
| 最高溫度 | <5 × 10-3 Torr | |
| 循環(huán)時(shí)間 | ||
| 總循環(huán) | 3 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探針臺(tái)冷卻 | 1.25 h | |
| 探針臺(tái)升溫 | 1.25 h | |
| 樣品 | ||
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
| 樣品背光接口 | 不可選 | |
| 樣品旋轉(zhuǎn) | 360°樣品旋轉(zhuǎn)選件(PS-360-EMPX) | |
| 樣品振動(dòng) | ＜300 nm 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 探針配置 | ||
| 最大探針數(shù) | 4 | |
| 探針臂溫度計(jì) | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 | |
| 冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) | |
| 探針支架 | 連接樣品臺(tái)熱沉 | |
| 探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
| DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 | |
| 微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz | |
| 光纖探針 | 可用于電光測量 | |
| 落針范圍 | 所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 | |
