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KEYENCEFU系列傳感器技術(shù)專欄
在 8 mm 至 30 mm 的距離間，高精度檢測
8 至30 mm 之間，到玻璃基板的距離即使變化，
也可實現(xiàn)定位精度控制在0.2 mm 以下。
如下圖所示，通過減小光的開口，提高從箭頭方向開始的定位精度。
* FS-V30 系列 TURBO 模式 APC OFF 時
* FU-38S 在距離 5 mm 至 17 mm 的情況下，是 0.2 mm 以下的定位精度。

1 清洗裝置
2 擴(kuò)散爐
清洗槽的液位管理
檢測盒子
入口的安全確認(rèn)
檢測浮標(biāo)式流量計的浮標(biāo)
盒內(nèi)的映射
檢測 Fork（?？耍┕ぜ?BR>檢測晶硅的碎片/ 裂痕
檢測裂痕/ 殘缺/ 碎片
冷卻水備用槽的液位管理
通過可視口檢測工件是否存在
透過可視口檢測工件存在與否
確認(rèn)氣壓恢復(fù)
硅片有無的確認(rèn)
送料器的除電
刮板和玻璃的調(diào)整
入口的安全措施
確認(rèn)盒內(nèi)的硅片位置
檢測托盤
確認(rèn)搬運時架子的姿勢
檢測多層差異
晶硅裝載吸附搬運
玻璃粘在一起之前的定位
檢測色帶的斷開/ 褶皺
檢測移載機(jī)械臂周圍進(jìn)入的物體