總評

        Olympus MX61L是對應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用），可以應(yīng)對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調(diào)節(jié)連動的亮度光圈等，實現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應(yīng)對大型樣本。

UIS 2物鏡生成鮮明的觀察影像

        UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質(zhì)，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。

主要操作集中配置在前面板上

        在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

        為了適應(yīng)視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。

       
                                                            傾斜鏡筒示意圖

安全快速的搬運晶圓

        MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設(shè)計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。

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                        自動晶圓搬送機AL110（200 mm規(guī)格）組合

 快速切換物鏡，提高檢查速度

        電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

           
                                                 電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

變換物鏡，亮度光圈（AS）也隨之調(diào)節(jié)

        每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)亮度光圈（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級），只要切換物鏡就能以zui合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。

       
                                                       AS自動調(diào)節(jié)示意圖

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

        對應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺夾子，可切換粗調(diào)和細調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。

       
                                             內(nèi)置離合器的載物臺夾子 

使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像

        三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格