真空控制系統(tǒng)

用途：用于實(shí)驗(yàn)腔體的真空度自動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)測(cè)試過(guò)程中真空的程序定向控制。

控制范圍：真空泵極限真空-100000pa

控制精度：<1000pa  ±1pa

                 >1000pa    0.1%

泄漏率：5*10^-9Pa.m³/S.He以下

控制速度：5min以?xún)?nèi)完成

程序步數(shù)：30步，隨意設(shè)置。

真空計(jì)：英?？嫡婵沼?jì) 0-50torr  0-1000

 真空控制系統(tǒng)

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