產(chǎn)品概述
吉時(shí)利 4200 - SMU 是一種高精度的儀器,可用于精確提供和測量電流、電壓,能進(jìn)行寬范圍的 I - V 測量,包括亞 ρA 漏電測量、μΩ 電阻測量等。它是 4200 系列參數(shù)分析儀的核心組成部分,可與其他模塊如電容電壓測量單元(CVU)、超快速脈沖測量單元(PMU)等配合使用,為半導(dǎo)體器件、材料和工藝的電氣特性分析提供全面的解決方案。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精度測量:提供高分辨率的電流和電壓測量,測量分辨率可達(dá) 100fA,選配前端放大器后可提供 0.1fA 的測量分辨率;電壓測量分辨率達(dá) 1μV,測量精度為 100μV,電流測量精度為 10fA。
寬測量范圍:電壓源范圍為 1μV - 200V,電流源范圍為 0.1fA - 1A,可滿足多種不同類型器件和材料的測試需求。
多功能集成:集數(shù)字萬用表、電源、電流源、電子負(fù)載和脈沖發(fā)生器五大功能于一身,能同時(shí)精確提供和測量電壓 / 電流,還可直接或間接測量電阻相對于電流 / 電壓的關(guān)系。
高速測量能力:具備快速的測量速度,可實(shí)現(xiàn)高效的測試流程,節(jié)省測試時(shí)間。例如,在一些應(yīng)用中可以快速完成對半導(dǎo)體器件的 I - V 特性掃描測量。
靈活配置:4200 系列參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進(jìn)行靈活配置,用戶可根據(jù)實(shí)際測試需求選擇不同的 SMU 模塊以及其他功能模塊,構(gòu)建滿足特定測試要求的系統(tǒng)。
低電流測量穩(wěn)定性:對于一些需要進(jìn)行低電流測量的應(yīng)用,如納米 FET 器件測試、LCD 顯示器制造等,4200 - SMU 表現(xiàn)出色。特別是新推出的 4201 - SMU 和 4211 - SMU 模塊,在提供電壓和測量電流時(shí),支持的電纜長度和連接電容都要超過傳統(tǒng) SMU,在電流測量范圍內(nèi),可以提供和測量的系統(tǒng)電容要比當(dāng)前水平高出 1,000 倍。