產(chǎn)品類(lèi)型: 渦輪分子泵
制造商: Alcatel
條件:重建
價(jià)格: $19,683.00
入口: ISO200F
排氣:KF40
清洗劑:KF16
抽速: 1,250 l/s (N2)
壓縮比:1 x 10^7 (N2)
極限壓力:6 x 10-9 Torr
重量: 76 磅
惰性氣體吹掃
消除腐蝕
電機(jī)和磁性
軸承線圈。
五個(gè)活動(dòng)軸
ACTIDYNE® 磁懸浮
轉(zhuǎn)子位置控制
5 個(gè)方向
自動(dòng)平衡系統(tǒng)
噪音和振動(dòng)。
轉(zhuǎn)子不平衡
抽速 — (N2, l/sec.) | 1,250 |
壓縮比:N2 | 1.0 x 107 |
壓縮比:He | 2.0 x 103 |
壓縮比:H2 | 1.0 x 102 |
入口法蘭 | ISO200-F 環(huán)境指標(biāo) |
前級(jí)法蘭 | QF40 系列 |
極限壓力 — Torr (mbar) | 8.0 x 10-9 |
泵重量 — 磅 (kg) | 75.5 (34) |
最大前級(jí)壓力 — Torr (mbar) | 1.125 (1.5) |
冷卻方式 | 水 |
取向 | 任何 |
最大吞吐量 (sccm, N2) | 3,000 |