產(chǎn)品描述:
10898A 雙通道激光軸板提供與 10897B 高分辨率激光軸板相同的分辨率,但轉(zhuǎn)換速率更高,噪聲更低。與以前的激光系統(tǒng)相比,更高的載物臺(tái)速度限制和低噪聲為 IC 制造設(shè)備等高級(jí)應(yīng)用提供了定位可重復(fù)性和精度。與前代產(chǎn)品 10897B 一樣, 10898A 采用高分辨率平面鏡干涉儀,可提供 lambda/2048(0.3 nm)的測量分辨率
特點(diǎn):
高精度測量:10898A雙激光軸板采用優(yōu)良的激光技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的測量,確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
高分辨率:其高分辨率特性使得在測量過程中能夠捕捉到更多的細(xì)節(jié)信息,從而提高測試的精度和準(zhǔn)確性。
雙激光通道:具備兩個(gè)獨(dú)立的激光通道或軸,可以同時(shí)進(jìn)行不同的測量或測試任務(wù),提高測試效率。