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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子/電池 |
|---|
NanoChrome ULTRA系列超微量級分析儀
核心參數
儀器種類：在線
適用領域：高純氣體分析專用
控制溫度范圍： +5°C … +40°C (+41°F … +104°F)
載氣流量范圍及控制：90 … 810ml/分鐘
載氣壓力范圍及控制：O2背景氣 = 85psig，其他背景氣 = 80psig
進樣口壓力設定范圍：30psig（具體視應用而定）
進樣口總流量設定范圍：0 … 300ml/分鐘（具體視應用而定）
簡介
該ULTRA系列超微量級分析儀專為半導體過程應用設計，采用創(chuàng)新的高靈敏度等離子發(fā)射檢測技術(PED)，可精確測量H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC氣體。其ProPeak鎖峰技術和直接分析方法確保了高的測量精度，廣泛應用于半導體生產和UHP氣體的質量控制。
創(chuàng)新型ULTRA系列產品中的一員，用于半導體過程應用的超微量級分析儀，可測量H2、CH4、CO、 CO2、N2、Ar和NMHC氣體.
性能:
創(chuàng)新的高靈敏度等離子發(fā)射檢 測儀 (PED)，可測量超微量級 Ar、N2、H2、CH4、CO、CO2和NMHC
ProPeak鎖峰技術，確保超高測量靈敏度
直接分析法，可避免FID和RGD的測量不確定性
主要應用:
半導體生產 - 質量控制
半導體生產 - 臺式分析系統(tǒng)
UHP氣體生產 - 質量控制
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