臺(tái)式全自動(dòng)三維形貌計(jì)量設(shè)備
ContourX-500光學(xué)輪廓儀快速，非接觸式3D表面計(jì)量自動(dòng)化臺(tái)式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克自動(dòng)傾斜光學(xué)測(cè)頭，可以完成編程并自動(dòng)測(cè)試一定角度范圍內(nèi)的表面特征，并能大程度地減少跟蹤誤差。
ContourX-500滿足計(jì)量要求，Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀（WLI）落地式型號(hào)的優(yōu)點(diǎn)。借助其新的USI通用掃描模式，本產(chǎn)品可以輕松地針對(duì)各種復(fù)雜應(yīng)用場(chǎng)景定制分析方法。這些場(chǎng)景涵蓋了從加工表面和半導(dǎo)體工藝制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。
先進(jìn)的臺(tái)式三維形貌計(jì)量設(shè)備
* 與放大倍率無關(guān)的Z軸分辨率
* 自動(dòng)化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺(tái)、自動(dòng)測(cè)頭傾斜和自動(dòng)亮度調(diào)整
* 更緊湊的氣動(dòng)減震臺(tái)設(shè)計(jì)
高性能的測(cè)量與分析功能
* 易于使用的界面，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果
* 廣泛的自動(dòng)化功能，可量身定制測(cè)量和分析程序
* 廣泛的濾鏡和分析工具
* 滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告
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