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型號(hào)：PECVD-III-500A-D210 -
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臺(tái)面式等離子體增強(qiáng)真空回轉(zhuǎn)爐
型號(hào)：BTF-1200C-R-PECVD -
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型號(hào)：PECVD-500A -
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單溫區(qū)滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD系統(tǒng)
型號(hào)：BTF-1200C-SL-PECVD -
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智能型PECVD系統(tǒng)（含壓力控制系統(tǒng)）
型號(hào)：PECVD-500A-D -
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型號(hào)：BTF-1200C-RP-PECVD -
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等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
型號(hào)：BTF-1200C-R-PECVD -
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型號(hào)：BTF-1200C-S-SL-PECVD -
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型號(hào)：BTF-1200C-S-PECVD -
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型號(hào)：PECVD PECVD-III-500A-SSSL -
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型號(hào)：BTF-1200C-SSL-PECVD -
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型號(hào)：BTF-1200C-II-SL-400C-PECV -
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智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
型號(hào)：BTF-1200C-II-AS-500A