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干涉顯微鏡6JA是用來(lái)測(cè)量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來(lái)測(cè)量零件表面刻線(xiàn)，鍍層等深度。儀器配以各種附件，還能測(cè)量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時(shí)還能將儀器安置在工件上，對(duì)大型工件表面進(jìn)行測(cè)量。儀器測(cè)量表面不平深度范圍為1-0.03微米，用測(cè)微目鏡和照相方法來(lái)評(píng)定▽10-▽14光潔度的表面。