目錄:瑞典百歐林科技有限公司>>接觸角/表面張力儀>> 晶圓接觸角測量儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器類型 | 實驗室臺式 | 儀器種類 | 表面張力儀（界面張力儀） |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
晶圓接觸角測量儀是一款的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學接觸角測量儀主機，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優(yōu)化半導體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預期相互作用，最終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。
晶圓接觸角測量儀應(yīng)用
• 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。
• 確定表面自由能
通過測量接觸角，可以推斷出表面自由能，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。
• 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
• 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水，從而影響光刻和蝕刻等工藝。
• 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分，以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
• 批量模式，用于對一排多個晶圓進行快速測量。
• 標準座滴法，可進行更深入的分析。
晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺
Theta Wafer晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺，用于旋轉(zhuǎn)晶圓，以實現(xiàn)直徑高達12英寸晶圓的接觸角自動定位測量。
Theta Wafer晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當?shù)奈恢谩榱诉M一步固定晶圓，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。
Theta Wafer晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺，可以自動定位直徑高達12英寸的晶圓。為了最大限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能，建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動進行表面自由能測量，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。
產(chǎn)品參數(shù)
測量參數(shù) | 表面張力，界面張力，接觸角，表面自由能 |
相機分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
拍照速度上限（FPS） | 3422 |
旋轉(zhuǎn)移動范圍 | 0-360° |
最大轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
分辨率 | 0.005° |
精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
最大樣品重量 | 500g |
其他
真空泵連接 | 是 |
接觸角的自動定位 | 是 |
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