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沈陽加野科學儀器有限公司
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0.1μm電子半導體生產環(huán)境中的塵埃粒子檢測

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品       牌Kanomax/日本

廠商性質生產商

產品資料查看pdf文檔

所  在  地沈陽市

更新時間:2024-12-13 13:54:17瀏覽次數(shù):347次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網
產地類別 進口 價格區(qū)間 面議
流量范圍 小流量 儀器種類 實驗室
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品/農產品,化工,生物產業(yè)
0.1μm電子半導體生產環(huán)境中的塵埃粒子檢測
重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)
雙通道: 0.1μm 0.3μm
額定流量:2.83umin
通過實現(xiàn)超小型化設計,使粒子計數(shù)器嵌入裝置設備成為可
0.1 um測量
4.3英寸彩色液晶
標配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度輕量化
以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中

0.1μm電子半導體生產環(huán)境中的塵埃粒子檢測

0.1μm電子半導體生產環(huán)境中的塵埃粒子檢測


應用范圍

作為傳感器嵌入到設備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區(qū)域的管理


重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)

雙通道: 0.1μm 0.3μm

額定流量:2.83umin

通過實現(xiàn)超小型化設計,使粒子計數(shù)器嵌入裝置設備成為可

0.1 um測量

4.3英寸彩色液晶

標配RS-485,Ethernet,USB

小型化!重量大幅度輕量化

以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中,

本產品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>


0.1μm電子半導體生產環(huán)境中的塵埃粒子檢測

   名

塵埃粒子計數(shù)器

   號

3950-00

粒子測量

測試方法

光散射法

粒徑通道

2粒徑(0.1、0.3μm)

額定流量

0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)

測量時間

6秒~99分59秒(1次測量時間)

間隔時間

6秒~99分59秒(測量周期)

采樣次數(shù)

1~999次 或 連續(xù)測試

地點設定

99個地點

測量方式

重復、單次、連續(xù)、計算

測量數(shù)據(jù)顯示時間

1~10秒

測量數(shù)據(jù)顯示

累計值∑ 差分值△及柱形圖

最大可測濃度

10,000,000個/m3

計數(shù)效率

50±20%(相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子)
100±10%(相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

計 數(shù)

<1個/35min

粒徑分辨率

15%以下(相對0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

   源

內置泵

顯示器

4.3英寸彩色液晶 觸摸屏

通迅功能

   體

USB(Host用于打印機、USB存儲;Device用于與PC鏈接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)

數(shù)據(jù)存儲

   體

內存

數(shù)量、格式

最大10,000個、CSV格式

顯示語言

英文、日語

  源

AC100~240V

使用環(huán)境

   體

15~35℃、0~85%RH (無結露)

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

   量

3.4kg

0.1μm電子半導體生產環(huán)境中的塵埃粒子檢測










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