目錄:深圳市新瑪科技有限公司>>探針臺>> CINDBESTCGO-4高低溫真空探針臺測試系統(tǒng)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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CGO-4高低溫真空探針臺測試系統(tǒng)
77K-675K(液氮)；
超高溫度分辨率；
低溫具有*穩(wěn)定性
特點(diǎn)/應(yīng)用
2至6英寸樣品臺
高真空腔體
防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好
77K-675K高低溫環(huán)境
兼容IV/CV/RF測試
外置多探針臂，移動(dòng)行程大
經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無縫升級
CGO-4高低溫真空探針臺測試系統(tǒng)
極低溫測試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測試：
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。
腔體規(guī)格：
型號 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
樣品固定 | 彈簧壓片 |
觀察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
真空度 | 10-6torr |
探針臂接口 | 4~6個(gè)探針臂接口 |
其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
制冷方式 | 液氮/液氦/制冷機(jī) |
溫度范圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
溫控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
穩(wěn)定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
外形 | 880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高 |
重量 | 約100千克/120千克 |
◆ 光學(xué)系統(tǒng)：
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動(dòng)行程 | 水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
◆ 探針臂：
X-Y-Z移動(dòng)行程 | 50mm*50mm*50mm |
結(jié)構(gòu) | 外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu) |
移動(dòng)精度 | 10微米/1微米 |
線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
頻率支持 | DC-67GHZ |
針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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