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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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8.5英寸等離子清洗機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):PCE-80

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-02-12 10:38:42瀏覽次數(shù):2486次

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應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子 最大射頻功率 100 W
PCE-80是一款較大型的8.5英寸等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

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8.5英寸等離子清洗機(jī)


PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

8.5英寸等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)




最大射頻功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 總功率: < 600W
● 電源:AC 220V , 50Hz

射頻電源:

●射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)

●頻率: 13.56 MH

●可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級(jí)為300W或500W的射頻電源,來進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn)


等離子腔體:

●8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體

●鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封

●法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口

●此設(shè)備*屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏

通入氣體:

●等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

●不能使用易燃qi體及腐蝕性氣體。


可選:

●可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

●可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

●空氣系統(tǒng)模塊

控制面板:

●通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等.

●儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì),可精確地控制進(jìn)氣流量


真空泵(選配):

●儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

●極限真空度為50mTorr(參考值,具體請(qǐng)點(diǎn)擊)

●真空泵模塊


外形尺寸:

620 L ×600 W ×600 H, mm


相關(guān)應(yīng)用:

●請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率

●對(duì)于等離子清洗,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在10 - 30W之間

●對(duì)于等離子刻蝕,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在35 - 80W之間

●可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源



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