目錄:上海爾迪儀器科技有限公司>>Diener>>低壓等離子表面處理設備>> ATTOdiener plasma低壓等離子清洗機
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,建材/家具,電子/電池 |
|---|---|---|---|
| 電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | 外形尺寸 | W525xD450xH450mm |
| 電源 | AC220V 50Hz 10A | 真空泵 | 排氣速度8m3/H |
| 工藝氣路 | 兩路 |
10.5 升的diener plasma低壓等離子清洗機為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)，適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層。
特點：
·緊湊型設計，節(jié)省空間
·輸出功率最大 300W，連續(xù)可調(diào)
·7寸觸摸屏人機交互界面（PCCE控制）
·存儲5套工藝參數(shù)（PCCE控制）
·操作簡單
用途
·用于不同材料表面的處理
·適合于研究所、高校、研發(fā)中心使用
·兼容8''及以下Wafer的表面處理
diener plasma低壓等離子清洗機產(chǎn)品參數(shù)：
選購品：單體導入模塊、發(fā)泡瓶、石英腔體、石英托盤、鉸鏈門、數(shù)字/模擬計時器（手動控制）、皮拉尼真空計、法拉第盒、H2泄漏檢測（PC控制）、溫度傳感器（PC控制）、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥
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