Parker派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導體應用。
Parker派克930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導體應用中閉不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計，控制閥座和隔膜應力，以提供穩(wěn)定和免維護的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供桌越的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質。 Vericlean™ 是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。
Parker派克930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關，用以提供開 - 關位置指示。還有多種閥體構造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。
Parker派克930系列閥門上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，以適應在苛刻的UHP應用中，保有其性能和穩(wěn)定性。
Parker派克930系列UHP半導體隔膜閥市場：
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★半導體
★分析實驗室
★制藥
★生物制藥
★航空航天
★工業(yè)
Parker派克930系列UHP半導體隔膜閥特點與優(yōu)勢：
★電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）
★高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕性服務）
★內(nèi)部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
★全壓力范圍使用:從真空到300 psig
★內(nèi)部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
★外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
★AOP驅動，額定壓力為75 psig
應用：
★腐蝕性氣體和特種氣體
★半導體工具
★工具連接
★燃氣柜
★閥組箱（VMB）
Vespel? 是杜邦高性能彈性體L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注冊商標。
VeriClean? 是派克漢尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商標
PEEK? 是威格斯公司（Victrex plc）的商標。
Parker派克930系列UHP隔膜閥相關型號：
930AOPLP1NCSFSFM
930AOPLP1NCSFSMF
930AOPLP1NCSFSMM
930AOPLPNOSFSMF
930AOPLPNOSFSMM
930ISFSMF
930ISTSM
930KSFSFMM
930KSFSMFM
930KSFSMMM
930LPHYSFSFFH
930LPHYSFSFMH
930LPHYSFSMFH
930LPHYSFSMMH
930LPHYSTSH
Parker派克930系列半導體隔膜閥
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