埃登威QZ361高純氣體露點(diǎn)儀采用才氧化鋁、氧化硅合成傳感器，響應(yīng)迅速，穩(wěn)定可靠。專門用于超高純氣體中的ppb含量微量水含量測(cè)量。在許多高純氣體的微量水含量測(cè)量的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體水分含量對(duì)于產(chǎn)品工藝及產(chǎn)品質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。QZ361露點(diǎn)儀工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的材質(zhì)和生產(chǎn)過(guò)程結(jié)合，使得在線式高純氣體露點(diǎn)儀QZ361適合批量應(yīng)用于半導(dǎo)體制造或超高純氣體管路之中。

QZ361高純氣體露點(diǎn)儀是基于氧化鋁氧化硅合成技術(shù)，α-阿爾法相、γ-氧化鋁二氧化硅混合介質(zhì)制造工藝采用了前沿的原子層沉積技術(shù)。

傳感器的工作原理是基于多孔感濕 層對(duì)水分子的吸收。絕緣材料層厚度在10納米到50 微米之間;該吸濕介質(zhì)敏感材料二氧化硅薄膜厚度在 0.5 納米到 500 納米之間厚度。因此，當(dāng)周圍環(huán)境的濕度發(fā)生變化的時(shí)候，傳感器對(duì)濕度變化會(huì)做出極其快速的反應(yīng)。

QZ361高純氣體露點(diǎn)儀的優(yōu)點(diǎn)

●  高靈敏度，快速響應(yīng)

●  精確測(cè)量，高穩(wěn)定性

●  操作簡(jiǎn)便，維護(hù)量低

● 可選擇現(xiàn)場(chǎng)顯示器

設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)

● 全新的氧化鋁氧化硅傳感器

● 高達(dá)+/-2℃td 的寬量程精度測(cè)量

● 自動(dòng)加熱校準(zhǔn)功能

● 超快響應(yīng)速度及出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

● 出色的抗干擾能力

● IP65防護(hù)等級(jí)，即使惡劣的環(huán)境下 也能提供良好的保護(hù)