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| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
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AWM40000 系列氣流質(zhì)量傳感器包括不帶放大和放大 / 信號處理的信號。AWM42150V和 AWM42300，使用和 AWM2000 相同的電路。AWM43300V 和 AWM43600V 使用和 AWM3000 相同的電路。AWM43600V 為 6SLPM 器件。
特點：
● 多個集中安裝 /O 形密封圈
● 陶瓷流量管（無引氣管），0-1000sccm
● 塑料流量管（無引氣管），0-6SLPM
● 高共模壓力（150psi）
● 工作溫度可至 125?C
● 零點和滿量程高穩(wěn)定性
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