一、產品介紹：
1、靈活的探測，4步工作流程，高級的分析性能
將高級的分析性能與場發(fā)射掃描技術相結合，利用成熟的 Gemini 電子光學元件。多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結構成像。Sigma 半自動的4步工作流程節(jié)省大量的時間：設置成像與分析步驟，提高效率。
2、用于清晰成像的靈活探測
利用*探測術為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。
利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。
利用新一代的二次探測器，獲取高達50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和 可變壓力探測器，在低真空環(huán)境下獲取高達85%對比度的銳利的圖像。
3、自動化加速工作流程
4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓首先，先對樣品進行導航，然后設置成像條件。
首先，先對樣品進行導航，然后設置成像條件。
接下來對樣品感興趣的區(qū)域進行優(yōu)化并自動采集圖像。后使用工作流程的后一步，將結果可視化。
4、高級分析型顯微鏡
將掃描電子顯微鏡與基本分析相結合：Sigma 背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品。
在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。
獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結果。
5、基于成熟的 Gemini 技術
Gemini 鏡頭的設計結合考慮了電場與磁場對光學性能的影響，并將場對樣品的影響降至更低。這使得即使對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。
Gemini in-lens 的探測確保了信號探測的效率，通過二次檢測(SE)和背散射(BSE)元件同時減少成像時間。
Gemini 電子束加速器技術確保了小的探測器尺寸和高的信噪比。
6、用于清晰成像的靈活探測
利用新的探測技術表征所有的樣品。
在高真空模式下利用創(chuàng)新的 ETSE 和 in-lens 探測器獲取形貌和高分辨率的信息。
在可變壓力模式下利用可變壓力二次電子和 C2D 探測器獲取銳利的圖像。
利用 aSTEM 探測器生成高分率透射圖像。
利用 BSD 或者 YAG 探測器進行成份分析。
二、產品原理
德國蔡司掃描電鏡是一種高分辨率顯微鏡，它使用電子束而不是光束來形成樣品的圖像。其工作原理如下：
1. 電子源：蔡司掃描電鏡使用熱陰極或場發(fā)射電子槍產生高能電子束。
2. 準直系統(tǒng)：通過準直系統(tǒng)將電子束聚焦成細小且平行的束流。這個系統(tǒng)包括透鏡和電磁透鏡等組件。
3. 樣品與激發(fā)：樣品被放置在真空室中，并用導電材料涂覆以避免電荷積累。當電子束與樣品表面相互作用時，會發(fā)生各種相互作用過程，如透射、反射、散射和次級電子發(fā)射等。
4. 探測系統(tǒng)：蔡司掃描電鏡采用多種探測器來檢測樣品與電子束之間的相互作用。最常見的探測器包括二次電子檢測器(SE)、能量散布譜儀(EDS)和后向散射電子檢測器(BSE)。
5. 掃描：電子束通過掃描線圈控制，在樣品表面進行掃描，通過測量不同位置的電子信號來構建圖像。
6. 信號處理和圖像生成：接收到的電子信號經過放大、濾波和數(shù)字化處理后，被轉換成亮度或灰度值，并在顯示器上以二維圖像形式呈現(xiàn)。
德國蔡司掃描電鏡的工作原理基于電子與物質相互作用的原理，通過探測電子與樣品之間的相互作用產生的信號來獲取高分辨率的樣品表面形貌信息。這種工作原理使得蔡司掃描電鏡在科學研究、材料分析和納米技術等領域具有廣泛應用。
三、配件：
SmartEDX
為您帶來一體化能譜分析解決方案
如果單采用SEM成像技術無法全面了解部件或樣品，研究人員就需要在SEM中采用能譜儀(EDS)來進行顯微分析。通過針對低電壓應用而優(yōu)化的能譜解決方案，您可以獲得元素化學成分的空間分布信息。得益于：
1.優(yōu)化了常規(guī)的顯微分析應用，并且由于氮化硅窗口的透過率，可以探測輕元素的低能X射線。
2.工作流程引導的圖形用戶界面地改善了易用性，以及多用戶環(huán)境中的重復性。
3.完整的服務和系統(tǒng)支持，由蔡司工程師為您的安裝、預防性維護及保修提供一站式服務。
拉曼成像與掃描電鏡聯(lián)用系統(tǒng)：
*集成化的拉曼成像
在您的數(shù)據(jù)中加入拉曼光譜及成像結果，獲得材料更豐富的表征信息。通過擴展蔡司Sigma 300，使其具備共聚焦拉曼成像功能，您能夠獲得樣品中的化學指紋信息，從而指認其成分。
1.識別分子和晶體結構信息
2.可進行3D分析，在需要時可關聯(lián)SEM圖像、拉曼面掃描成像和EDS數(shù)據(jù)。
3.*集成RISE讓您體驗由*SEM和拉曼系統(tǒng)帶來的優(yōu)勢。
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