高速掃描電子顯微鏡采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術，實現(xiàn)了超快的數據采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。
HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術，實現(xiàn)了超快的數據采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。
高速掃描電子顯微鏡面向應用場景的自動化操作流程設計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。
圖像采集速度
10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速電壓
100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)
分辨率
1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE
視場大小
最大視場1*1 mm2，高分辨微畸變視場32*32 um2
樣品臺精度
重復定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
高速掃描驅動器
駐點時間10 ns/pixel，
最快采集速度2*100 M pixel/s
全靜電高速偏轉系統(tǒng)
可實現(xiàn)高分辨大場模式，
4 nm像素點最大視場達32*32 um2
產品優(yōu)勢
高速自動化
全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
大場低畸變
跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變
低壓高分辨
樣品臺減速技術，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率
應用領域
應用案例
芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns
芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
| 指標 | HEM6000 | 常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡 |
| 像素尺寸(單張) | 8192*8192 |
| 像素點時間 | 120 ns（點/行/幀平均數：6/2/1） | 800 ns |
| 像素大小 | 16 nm |
| 拍攝總面積 | 2 mm2 |
拍攝總時間 | 25分32秒 | >140分 |
產品參數
| 關鍵參數 | 分辨率 | 1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE； |
| 2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE； |
| 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) |
| 6 kV~30 kV(非減速模式) |
| 放大倍率 | 66~1,000,000x |
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 |
| 物鏡類型 | 浸沒式電磁復合物鏡 |
| 樣品裝載系統(tǒng) | 真空系統(tǒng) | 全自動控制，無油真空系統(tǒng) |
| 樣品監(jiān)控 | 樣品倉監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭 |
| 樣品最大尺寸 | 直徑4英寸 |
| 樣品臺 | 類型 | 電機驅動3軸樣品臺（*可選配壓電驅動樣品臺） |
| 行程 | X、Y軸：110mm； Z軸：28mm； |
| 重復定位精度 | X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm； |
| 換樣方式 | 全自動控制 |
| 換樣時間 | ＜15 min |
| 換樣倉清洗 | 全自動控制等離子清洗系統(tǒng) |
| 圖像采集與處理 | 駐點時間 | 10 ns/pixel |
| 圖像采集速度 | 2*100 M pixel/s |
| 圖像大小 | 8K*8K |
| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內混合電子探測器 |
| 選配 | 低角度背散射電子探測器 |
| 鏡筒內高角度背散射電子探測器 |
| 壓電驅動樣品臺 |
| 高分辨大場模式 |
| 樣品倉等離子清洗系統(tǒng) |
| 6英寸樣品裝載系統(tǒng) |
| 主動減震臺 |
| AI降噪；大圖拼接；三維重構 |
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows |
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 |
| 自動功能 | 自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散
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