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美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)

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  • 型號(hào) WP-15
  • 品牌 其他品牌
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  • 所在地 國(guó)外
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更新時(shí)間:2024/09/23 09:11:14瀏覽次數(shù):7196

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美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)
SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個(gè)1mm×15mm的Bar條。
所有解理出的bar條被收集到樣品托,堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。
*設(shè)計(jì)的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。
解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。
解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室,不用暴露大。

詳細(xì)介紹

美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)介紹

SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個(gè)1mm×15mm的Bar條。

所有解理出的bar條被收集到樣品托,堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。

*設(shè)計(jì)的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。

解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。

解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室,不用暴露大氣。


美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)規(guī)格

在線bar條解理

加工15mm×15mm 樣品(10mm-32mm可選)

加工成15mm×1mm 樣品(1mm-5mm寬度可選)

8''法蘭接口

可烘烤至180℃,(200℃可選)

樣品可以兩種方向加工

UHV環(huán)境兼容

Cassette裝取





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