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美國RLS激光尺是利用激光對目標的距離進行準確測定的儀器。激光尺在工作時向目標射出一束很細的激光,由光電元件接收目標反射的激光束,計時器測定激光束從發(fā)射到接收的時間,計算出從觀測者到目標的距離。
美國RLS激光尺現(xiàn)貨
美國RLS激光尺術(shù)語表
查找干涉測量激光尺常用技術(shù)術(shù)語的定義。
Abbé誤差
當激光尺軸與工作軸發(fā)生偏置時產(chǎn)生Abbé誤差。如果平臺俯仰或扭擺,則工件的運動與激光尺讀數(shù)不同。對于偏置d和平臺俯仰θ,所產(chǎn)生的Abbé偏置誤差為:Abbé誤差 = d × sin θ。
精度
精度是一個定性術(shù)語,指的是某個對象的測量值與其真實(目標或參考)值之間的一致性.
分光鏡
分光鏡是一種光學器件,可將一束光分成兩束或更多束。它是大多數(shù)干涉儀系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。
補償
調(diào)整激光尺的位置輸出信號以修正位置誤差的過程。
相長干涉
當兩束相位和頻率相似的光波相結(jié)合所形成的光束強度比其中任意一束光更加明亮時,即產(chǎn)生相長干涉現(xiàn)象。
相消干涉
當兩束頻率相似但相位相反的光波相結(jié)合所形成的光束強度低于其中明亮的一束光時,即產(chǎn)生相消干涉現(xiàn)象。
頻率
頻率是測量單位時間內(nèi)某個重復(fù)事件發(fā)生次數(shù)的物理量。頻率的計算方式是,測量某個事件連續(xù)發(fā)生兩次之間的時間(周期),然后再通過計算該時間的倒數(shù)得出頻率。該結(jié)果以赫茲 (Hz) 為單位進行測量,f = 1/T。
測量聲音、電磁波(例如無線電或光)、電子信號或其他波的頻率時,以赫茲為單位的頻率是每秒的重復(fù)波形周期數(shù)。頻率與波長成反比關(guān)系。頻率f等于波的速度v除以波長λ (lambda):f = v/λ。
穩(wěn)頻精度
測量激光頻率的變化。
非真空環(huán)境
大氣中充滿空氣的三維空間。
干涉
干涉是指兩個或多個波疊加,產(chǎn)生新的波形的現(xiàn)象。作為常用的術(shù)語,干涉通常指相關(guān)或相干的波之間由于來自同一個來源或頻率相同或幾乎相同而產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象。(另請參閱相長干涉、相消干涉。)
細分
細分是根據(jù)一組離散的已知數(shù)據(jù)點構(gòu)建新的數(shù)據(jù)點的方法。在位置控制中,該術(shù)語通常指采集模擬位置信號并通過固定系數(shù)將其細分為離散數(shù)字信號。
細分盒
細分盒是一種電子裝置,可對模擬位置信號進行細分并根據(jù)細分系數(shù)將其轉(zhuǎn)換為離散的數(shù)字計數(shù)。例如,周期為158 nm的模擬信號使用4096細分盒可產(chǎn)生分辨率為38.6 皮米的信號。
利薩如圖形
利薩如圖形是顯示正弦和余弦信號的一種方法。它使用三角代數(shù)將信號組合成一個圓形形式。采用*的信號處理方案,圓上的一個精確點的數(shù)學屬性可代表干涉儀運行的許多特性,例如信號強度和在某個時間點的位置。
OEM
原始設(shè)備制造商是指制造其他公司終產(chǎn)品所使用的零部件或子系統(tǒng)的公司。
相位
波的相位可將某個特征的位置與波形另一部分中的相同特征(或在另一波形中的相同特征)相關(guān)聯(lián)。測量相位關(guān)系,可以是針對時間、距離、波長的一部分或一個角度來進行。
正交
該術(shù)語用于描述通過兩條導(dǎo)線傳輸,并靠每個邊緣變化得到位置信息的數(shù)字串行信號。相位每間隔90o出現(xiàn)一次邊緣變化,因此4次邊緣轉(zhuǎn)換需要的行程為360o。因此,這被稱為正交以表示4個點。通常被稱為AQuadB,表示在輸出信號時使用A和B導(dǎo)線。該信號通常為RS422 AQuadB,是激光尺位置反饋的標準串行協(xié)議。此外,它還可用來定義在所謂“相位正交"中的正弦和余弦信號。
折射率
折射率是指光在空氣中的傳播速度與光在某個既定波長的折射介質(zhì)中的傳播速度的比值。它表示空氣的傳播特性,與氣溫、相對濕度和氣壓等條件相關(guān)。
分辨率
激光尺的分辨率是指它可測量并傳輸?shù)胶线m接收器的小距離增量。
電子細分誤差 (SDE)
是指通常由利薩如圖形的不圓度引起的非累積誤差。
美國RLS激光尺現(xiàn)貨
真空
真空是一個部分或全部清除空氣的三維空間。有各種級別的真空:
粗或低真空 — 1托至1毫托
中真空 — 1毫托至10微托
高真空 — 1微托至10納托
超高真空 — 不超過1納托
其中:1托 = 133.322帕斯卡1個大氣壓強(海平面氣壓)= 101.325千帕斯卡 = 760托
波長
波長是指某個波形的重復(fù)單元之間的距離。它通常用希臘字母lambda (λ) 表示。正弦波的波長為兩個波峰之間的距離。波長λ與頻率f(時間內(nèi)經(jīng)過某個點的波峰數(shù)量)成反比關(guān)系。波長等于波型速度除以波的頻率。