HIDEN RGA系列四極質(zhì)譜儀殘余氣體分析檢測容器中的存在組分，或進行過程中產(chǎn)生氣體的分析，針對真空診斷的準(zhǔn)確分析。

應(yīng)用：

1、殘余氣體或泄漏檢測
2、實質(zhì)上的泄漏或脫附分析
3、除氣研究
4、烘烤周期
5、泵效能
6、腔室/過程氣體污染物

四極質(zhì)譜儀特點：

1、靈敏度PPM,質(zhì)量數(shù)至300amu
2、穩(wěn)定性（24小時以上，峰高變化小于±0.5%）
3、MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制
4、快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
5、混合模式掃描－多個windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰
6、同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
7、同步背景扣除，自動質(zhì)量數(shù)列表
8、數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備
9、即時動態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如Excel、SPC-IV統(tǒng)計過程控制軟件等。