美國(guó)Micromanipulator的4060手動(dòng)探針平臺(tái)

高性能4060手動(dòng)探針平臺(tái)系統(tǒng)，150/200mm晶圓測(cè)量

美國(guó)Micromanipulator設(shè)計(jì)的4060手動(dòng)探針平臺(tái)是一種高效的，能夠測(cè)量6 - 8英寸（150 - 200mm）的手動(dòng)分析探針站。4060手動(dòng)探針平臺(tái)可以應(yīng)用于日常故障分析，設(shè)備表征和可靠性測(cè)試應(yīng)用。4060手動(dòng)探針平臺(tái)具有高效的、準(zhǔn)確的電氣和機(jī)械性能的特點(diǎn)，是工業(yè)領(lǐng)域上高效、穩(wěn)定和可靠的150/200mm手動(dòng)探針系統(tǒng)。

4060手動(dòng)顯微鏡探針平臺(tái)可以根據(jù)您的特點(diǎn)需求進(jìn)行配置，可選配置包括：探針卡座、熱壓板、操縱器、特殊的探針支架、隔震臺(tái)、光密封外殼(LTEs)和相機(jī)系統(tǒng)等附件。標(biāo)準(zhǔn)的手動(dòng)探針平臺(tái)系統(tǒng)配置選項(xiàng)包括獨(dú)立的顯微鏡升降鎖定桿組件、平臺(tái)升降和可調(diào)顯微鏡升降延遲以及支持低溫探測(cè)的黑暗干燥一體化的環(huán)境。

4060型號(hào)手動(dòng)探針臺(tái)的高效和堅(jiān)固可靠性結(jié)合其性?xún)r(jià)比的優(yōu)勢(shì)，使其成為一種真正具有成本效益的通用分析探針系統(tǒng)的理想選擇。

4060手動(dòng)探針平臺(tái)系統(tǒng)的特點(diǎn)：

- 手動(dòng)螺桿控制平臺(tái)，精確的控制平衡了晶圓的快速轉(zhuǎn)換和高分辨率定位的關(guān)系

- 螺桿控制壓板，用于探針夾持器定位

- 絲桿驅(qū)動(dòng)高分辨率手動(dòng)夾持器θ控制

- 高穩(wěn)定性的顯微鏡支撐架支持高分辨率復(fù)合顯微鏡

- 人體工學(xué)、直觀、緊湊的設(shè)計(jì)提高了使用便利性，同時(shí)增加了穩(wěn)定性

- 緊湊的占地面積，能夠有效利用實(shí)驗(yàn)室空間

- 大型鋁壓板允許操作員選擇合適的位置放置操縱器

- 6英寸(150 mm)或8英寸(200 mm)的夾具，具有全晶圓覆蓋級(jí)的行程移動(dòng)

- 可選配熱或熱/冷夾具，包括內(nèi)部電纜/軟管處理組件，方便在探測(cè)站的后部和集成的黑暗/干燥環(huán)境進(jìn)行操作

美國(guó)Micromanipulator的4060手動(dòng)探針平臺(tái)