ArF(193nm)，反射率>97%、耐酸/氟的193/248/308nm反射鏡

Lambda Research Optics由從事電子光學(xué)業(yè)務(wù)超過(guò)25年的專(zhuān)業(yè)人士創(chuàng)立，專(zhuān)注于生產(chǎn)用于從真空紫外到遠(yuǎn)紅外整個(gè)光學(xué)光譜的光學(xué)元件。Lambda對(duì)光學(xué)、光學(xué)材料和光學(xué)鍍膜具備一定的能力，可為客戶(hù)提供研究、開(kāi)發(fā)或產(chǎn)品制造所需的光學(xué)元件。Lambda準(zhǔn)分子激光反射鏡 輸出波長(zhǎng)193nm

美國(guó)Lambda準(zhǔn)分子反射鏡分為腔內(nèi)反射鏡(XRM/XOC)和腔外反射鏡(XHR/XPR)，ArF(193nm)、KrF(248nm)或XeCl(308nm)準(zhǔn)分子激光反射鏡可用于微光刻、微制造和醫(yī)療設(shè)備等應(yīng)用。氟化氬準(zhǔn)分子激光器可產(chǎn)生193nm的短波長(zhǎng)輸出，這對(duì)于追求更精細(xì)分辨率的微光刻領(lǐng)域非常重要，此波長(zhǎng)下，建議使用氟化鈣或氟化鎂基底作為腔內(nèi)透射光學(xué)元件。后腔反射鏡(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波長(zhǎng)下的反射率至少為97%。另外，用戶(hù)可選擇輸出耦合器的反射率。值得關(guān)注的是，Lambda高質(zhì)量準(zhǔn)分子激光腔鍍膜涂層是專(zhuān)為耐酸/氟(Acid/Fluorine resistance)而設(shè)計(jì)的。

腔外反射鏡(extra-cavity mirrors)用于氟化氬準(zhǔn)分子激光器，它們使用紫外熔融石英襯底，輸出波長(zhǎng)為193nm。在短波長(zhǎng)下工作時(shí)，高質(zhì)量的涂層和高的潔凈度至關(guān)重要，這些反射鏡在正常入射時(shí)的非偏振反射率至少為97%，在45°入射時(shí)為96%。部分反射率可由用戶(hù)選擇。

準(zhǔn)分子激光反射鏡 Lambda的主要特點(diǎn)：

腔內(nèi)反射鏡和輸出耦合鏡(XRM/XOC)特征：

- 氟化氬準(zhǔn)分子激光光學(xué)器件

- 氟化鈣或氟化鎂基底

- 反射率>97%

腔外反射鏡和部分反射鏡(XHR/XPR)特征：

- 腔外轉(zhuǎn)向鏡Extra-Cavity Turning Mirrors

- 正?；?span style=";padding: 0px">45°入射角

- 高反射率或部分反射率

308/248/193nm反射鏡的規(guī)格：

93nm準(zhǔn)分子反射鏡和輸出耦合鏡XRM/XOC型號(hào)參數(shù)：

* 根據(jù)客戶(hù)要求，可提供任何比例的反射。

193nm準(zhǔn)分子反射鏡XHR/XPR型號(hào)參數(shù)：

* 反射百分比和入射角可根據(jù)客戶(hù)要求提供

Lambda準(zhǔn)分子激光反射鏡 輸出波長(zhǎng)193nm