晟鼎-小型真空等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用，會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。晟鼎真空等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

（1）達(dá)因特真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品簡(jiǎn)述

（1.1）等離子清洗的作用

等離子清洗的作用原理主要是：

（A）對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用

等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。

（B）激活鍵能，交聯(lián)作用

等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用

如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性。

（1.2）小型真空等離子清洗機(jī)清洗的優(yōu)勢(shì)

等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用。晟鼎真空等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用