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東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司
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美國MKS控制閥的特性與功能一定要知曉
2025-3-7 閱讀(52)
大家對于美國MKS控制閥的特性與功能一定要知曉，接下來為大家講述一下要點，如述：
美國MKS控制閥的特性主要包括以下幾點：
精確控制：上游流量控制閥是比例控制閥，設(shè)計用于精確控制過程中上游的氣流。
減少污染和腐蝕：使用保證外部泄漏率小于1x10-10atmcc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。
高溫運行能力：148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。
調(diào)節(jié)功能：當與MKS控制器和適當?shù)牧髁總鞲衅饕黄鹗褂脮r，248D閥門可調(diào)節(jié)氣體流量，同時保持準確和精確的壓力或流量。
易維護性：248D閥門的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換。
廣泛的流量范圍：滿量程流量范圍為10-50,000標準立方厘米，最小可控流量根據(jù)不同情況分別為0.2%滿量程（小于100sccm）、0.1%滿量程（100至10,000sccm）和小于2%滿量程（大于10,000sccm）。
密封材料多樣性：提供多種密封材料選項，如Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez，以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
工作溫度范圍：工作溫度范圍為-10至60°，適應(yīng)多種環(huán)境條件。
以上特性使得美國MKS控制閥成為半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備的理想選擇。
美國MKS控制閥是一種精密的流量控制設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲存介質(zhì)等領(lǐng)域。
美國MKS控制閥的功能主要包括以下幾個方面：
精確控制氣流：MKS控制閥能夠精確控制過程中上游的氣流，這對于維持穩(wěn)定的工藝環(huán)境至關(guān)重要。
減少污染和腐蝕：使用金屬密封件以避免污染和腐蝕，確保了產(chǎn)品的純凈度和延長了設(shè)備的使用壽命。
高溫運行能力：MKS高溫閥可在150°C的過程溫度下運行，適應(yīng)了更廣泛的工業(yè)應(yīng)用需求。
調(diào)節(jié)和更換便利性：MKS控制閥的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換，這使得維護和調(diào)整變得更加便捷。
控制性能優(yōu)化：通過兩個螺旋彈簧使電樞在閥體內(nèi)居中并抵抗磁升力，最大限度地減少了摩擦和遲滯，從而優(yōu)化了控制性能。
適應(yīng)不同流量范圍：MKS控制閥提供了廣泛的流量范圍，能夠滿足不同工藝過程的需求。
與控制器的兼容性：MKS控制閥可以與適當?shù)腗KS控制器和壓力傳感閥連接，形成一個完整的控制系統(tǒng)。
綜上所述，美國MKS控制閥以其精確的流量控制、高溫運行能力和與控制器的良好兼容性等特點，在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。
希望以上內(nèi)容對大家有所幫助，歡迎致電咨詢！
