Akribis-air智能研磨拋光機(jī)，具有高度自動(dòng)化的獨(dú)立系統(tǒng)，提供了工藝創(chuàng)新，在短時(shí)間內(nèi)可實(shí)現(xiàn)zui高水平的處理。

Akribis-Air智能研磨拋光機(jī)功能：

• 盤(pán)面平整度控制
• 夾具自動(dòng)設(shè)置
• 動(dòng)態(tài)負(fù)荷控制
• 增加控制參數(shù)
• 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)收集和反饋
• 計(jì)量磨料供應(yīng)
• 自動(dòng)清洗功能

    單工作站系統(tǒng)配有400mm的盤(pán)，速度為100rpm。當(dāng)使用LOFITECH的動(dòng)態(tài)負(fù)載控制的新智能夾具系統(tǒng)，在廣泛的應(yīng)用程序中提供快速、可靠和高度準(zhǔn)確的結(jié)果。LOFITECH的空氣驅(qū)動(dòng)智能夾具可用于100毫米和150毫米晶圓處理。

Akribis-air智能研磨拋光機(jī)典型應(yīng)用:

• 硅集成電路、太陽(yáng)能和波導(dǎo)
• III-V族化合物稀釋和拋光
• 藍(lán)寶石和發(fā)光二極管
• 碳化硅光學(xué),發(fā)光二極管和電力電子
• 氮化鎵-光學(xué)儀器、激光、射頻高頻