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Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時您的得力助手

閱讀:1131          發(fā)布時間:2020-8-12

課程 

KLA Instruments | Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時您的得力助手

※適合新老客戶了解學(xué)習(xí)膜厚儀的使用;加深對產(chǎn)品的理解。

超過8微米的厚膜會產(chǎn)生很多光干涉條紋。分析這樣復(fù)雜光譜的一個簡潔方法就是用快速傅里葉變換。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析。這包括FFT窗口功能,波長范圍自動優(yōu)化,以及光學(xué)厚度濾波。
我們會講到光斑尺寸的影響以及設(shè)備的選配。還會講到多層薄膜的應(yīng)用。

 

 

下期預(yù)告:

        時間:2020年9月17日  上午10點 

敬請期待?。▽脮r注意查看推送文章)

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