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雙光束激光干涉儀 aixDBLI
  • 雙光束激光干涉儀 aixDBLI
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貨物所在地:北京北京市

地: 北京

更新時(shí)間:2024-12-20 20:00:47

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雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。
這一臺(tái)適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8“晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。
大量樣品測(cè)試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。

雙光束激光干涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)

雙束激光干涉儀.png


雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。
一臺(tái)適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。
大量樣品測(cè)試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。

測(cè)試功能:
機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號(hào)介電常數(shù)。
疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。

樣品測(cè)試:
極化曲線和位移曲線。
小信號(hào)電容及壓電系數(shù)。

技術(shù)參數(shù):
分辨率: ≤1 pmX晶向的石英)
測(cè)量范圍:5pm- +/- 25nm
波長(zhǎng):632.8nm
位移/應(yīng)力測(cè)試:>50Hz,最小1Hz分辨率,100mV10V(可選到200V
壓電d33系數(shù):
 基電壓100mV10V1mHz1Hz),可選到200V
 小信號(hào)100mV10V1kHz5kHz
C-V測(cè)試:
 基電壓100mV10V1mHz1Hz),可選到200V
小信號(hào)100mV10V1kHz5kHz



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