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詳細(xì)介紹
二手JSM-7610Fplus場發(fā)射電鏡采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外，還具備利用GENTLE BEAM TM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過R-Filter分選信號等功能，滿足各種需求的高擴(kuò)展性。
技術(shù)參數(shù)： 1．分辨率：0.8nm（15kV）／1.0 nm（1kV） 2．加速電壓：0.1 kV—30 kV 3．放大倍數(shù)：25—100萬倍 4．樣品室尺寸：最大200mm直徑樣品
一、功能特色
配備半浸沒式物鏡，能將電子束收縮的很細(xì)，實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的高分辨成像；采用GENTLEBEAM™模式，通過給樣品加以偏壓使得電子束在到達(dá)樣品前減速的功能來實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的有效觀察和分析；可通過r-filter選擇樣品上產(chǎn)生的二次電子和背散射電子信號進(jìn)行檢測。
二、技術(shù)參數(shù)
1. 電子槍類型：熱場發(fā)射槍
2. 加速電壓：0.1 – 30 kV
3. 二次電子像分辨率：0.8 nm（15kV）、1.0 nm（1kV）
4. 放大倍率： 25–1M倍
5. 能譜：Oxford X-Max50 電制冷能譜儀
三、應(yīng)用領(lǐng)域
通過掃描電子顯微鏡材料，可以進(jìn)行材料表面形貌的觀察；材料的斷口形貌的觀察，了解材料的破壞特征、材料內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及缺陷；通過X射線能譜(EDS)和X射線波譜成分分析等電子探針附件，可掌握材料微區(qū)化學(xué)成分分析。
二手JSM-7610Fplus場發(fā)射電鏡技術(shù)參數(shù)
二次電子像分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ） | |||
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） | |||
加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV | |||
探針電流 | 數(shù) pA ～ 200 nA | |||
電子槍 | 浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍 | |||
透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡（CL）、 最佳光闌角控制鏡（ACL）、 半浸沒式物鏡（OL） | |||
樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達(dá)驅(qū)動 | |||
電子檢測器系列 | 高位檢測器、 r‐過濾器 內(nèi)置、 低位檢測器 | |||
自動功能 | 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調(diào)節(jié) | |||
圖像觀察用 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 | |||
抽真空系統(tǒng) | 電子槍室／中間室 SIP 離子泵 | |||
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