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上海申思特自動化設備有限公司

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半導體光導OMAL歐瑪爾開關
半導體光導OMAL歐瑪爾開關
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更新時間:2016-12-23 09:58:27瀏覽次數(shù):626

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【簡單介紹】
半導體光導OMAL歐瑪爾開關
光導OMAL歐瑪爾開關(Photoconductive semiconductor switch, PCSS)也就是通過光控制導通與關斷的半導體材料OMAL歐瑪爾開關。光導OMAL歐瑪爾開關是一種利用光能量激勵半導體材料,使其電導率發(fā)生變化而產(chǎn)生電脈沖的光電轉換器件。
【詳細說明】

半導體光導OMAL歐瑪爾開關
光導OMAL歐瑪爾開關(Photoconductive semiconductor switch, PCSS)也就是通過光控制導通與關斷的半導體材料OMAL歐瑪爾開關。光導OMAL歐瑪爾開關是一種利用光能量激勵半導體材料,使其電導率發(fā)生變化而產(chǎn)生電脈沖的光電轉換器件。光導OMAL歐瑪爾開關具有功率密度高(MW量級)、響應速度快(ps量級)、觸發(fā)抖動低(ps量級)、抗電磁干擾能力強(良好的光電隔離)、體積小、易集成的優(yōu)點。

半導體光導OMAL歐瑪爾開關
在大電流點火裝置、拒止武器和高功率微波系統(tǒng)、精密時間同步、THz技術、瞬態(tài)測試、沖激雷達、電磁干擾與攻擊系統(tǒng)等領域應用廣泛。光導OMAL歐瑪爾開關誕生以后,研究人員就孜孜不倦的研究著不同用途的光導OMAL歐瑪爾開關的體材料,對于材料的實驗和研究從未停止。*代半導體材料中的Si,第二代半導體材料中的GaAs,第三代半導體材料中的SiC都被廣泛應用到光導OMAL歐瑪爾開關中。常溫下GaAs的電子遷移率可達8500cm2/V·s,比Si和SiC都要高得多,載流子的壽命為O.1ns到10ns,實驗數(shù)據(jù)表明,對于特定波長的光激勵,GaAs光導OMAL歐瑪爾開關的電壓轉換有著更高的效率。光導OMAL歐瑪爾開關的核心部分是重摻雜半導體有源區(qū)與多層金屬經(jīng)合金化形成電極的歐姆接觸。本論文的研究工作是圍繞GaAs光導OMAL歐瑪爾開關的制作工藝和歐姆接觸性能分析研究展開的。論文敘述了光導OMAL歐瑪爾開關的研究意義、結構和應用,在此基礎上,介紹了光導OMAL歐瑪爾開關的原理和歐姆接觸的原理;通過對比和項目的要求確定了光導OMAL歐瑪爾開關的襯底材料、電極金屬體系和光導OMAL歐瑪爾開關的結構;介紹了常見的歐姆接觸電阻率測量的方法和光導OMAL歐瑪爾開關的制作工藝;用圓點傳輸線測量方法對樣品的接觸電阻率進行了測量,用半導體電學特性測試儀測量了歐姆接觸的I-V特性曲線,并且用AFM原子掃描顯微鏡對金屬電極的形貌進行了掃描;論文zui后對研究工作進行了總結和展望。

半導體光導OMAL歐瑪爾開關
電極接觸電阻的大小直接決定了光導OMAL歐瑪爾開關的OMAL歐瑪爾開關速度、效率和增益等性能,因此準確的測量光導OMAL歐瑪爾開關歐姆接觸的參數(shù)是研究光導OMAL歐瑪爾開關的先決條件。歐姆接觸性能的表征可以通過Ⅰ-Ⅴ特性曲線和接觸電阻率測量來體現(xiàn),也可以通過顯微鏡來掃描其形貌特征來直觀表現(xiàn)。一個器件要想獲得良好的性能,必須盡可能的降低器件電極的接觸電阻率,從而減小接觸上的壓降,增大器件工作部分的壓降。



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