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技術文章

美國激光干涉儀API測量儀器信息

閱讀:122          發(fā)布時間:2025-5-12

核心優(yōu)勢

  • 優(yōu)異精度:標準款激光干涉儀檢測精度達 0.5ppm(0.5μm/m),能夠滿足眾多高精度制造場景;XD Laser 系列的精密型更是將精度提升至 0.2ppm(0.2μm/m),適用于半導體制造、光學鏡片研磨等對精度要求高的行業(yè)。

  • 高效測量:以 XD Laser 6D 為例,一次安裝即可同步完成定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角、滾動角等 6 項參數(shù)測量,相比傳統(tǒng)設備效率大幅提升 80%。例如,1 米行程機床的全面誤差檢測,傳統(tǒng)方法需要較長時間,使用 API 設備僅 3 - 4 小時便可完成。

  • 便捷操作:儀器采用緊湊設計,全套系統(tǒng)輕巧便攜。測量時無需三角架,可直接安裝在機床導軌上,極大簡化安裝流程;集成化的干涉鏡與激光器設計,減少復雜的光路調整步驟;部分型號支持 25 米以上無線遙控測量,方便操作人員在復雜工況下靈活使用。

  • 良好環(huán)境適應力:內置自動氣壓與溫度補償系統(tǒng),可實時校正環(huán)境變化對激光波長和測量結果的影響;多重數(shù)字濾波器有效抑制空氣波動、溫度梯度導致的測量誤差,無論是恒溫實驗室還是溫度、濕度變化較大的工業(yè)現(xiàn)場,均可穩(wěn)定輸出可靠數(shù)據(jù)。

  • 功能豐富:API 激光干涉儀具備多樣化的測量功能,1D 型號專注定位誤差檢測;3D 型號可測量定位誤差與雙向直線度誤差;5D/6D 型號更能實現(xiàn)角度參數(shù)的全面測量。此外,XD Laser 系列還可對速度、加速度、振動等動態(tài)參數(shù)進行分析,為機床性能評估提供多維度數(shù)據(jù)支持。


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