Edwards愛德華渦旋真空泵 nXDS6i干式渦旋泵在其他渦旋泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化，提高了抽速，獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對可冷凝蒸汽(包括水、溶劑、稀酸和堿)進(jìn)行抽真空。nXDS泵還采用了新的端面密封技術(shù)，顯著延長了端面密封條更換的時間間隔。

Edwards愛德華渦旋真空泵 nXDS6i干式渦旋泵產(chǎn)品應(yīng)用：

一般清潔泵送應(yīng)用，電子掃描顯微鏡-SEM，射束線和高能物理，前級渦輪泵，覆層，低溫學(xué)，脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹脂，蒸餾/萃取/過濾，冷凍干燥，熔爐，凝膠體干燥，實驗室工作臺上真空，激光、氣體回收和再循環(huán)，氦檢漏儀，負(fù)載鎖和傳輸腔，稀有氣體再循環(huán)，稀有氣體回收，冷凍制造，研發(fā)，旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器，SEM/FIB（離子束維修），溶劑回收，表面科學(xué)儀器。

特性與優(yōu)勢：

真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染；

無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長；

簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設(shè)計相結(jié)合，只需特殊工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù)，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間；

改進(jìn)了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本；

先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過USB、RS232或RS485實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視。