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  • 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)

    晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)非接觸式厚度測(cè)量,可以測(cè)量背面研磨減薄和刻蝕后的晶圓,也可測(cè)量粘附在藍(lán)膜或者其他載體上的有圖形或凸起的晶圓,可應(yīng)用于堆疊芯片和微機(jī)電系統(tǒng)。

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