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2021年5月25日，日立科學(xué)儀器（北京）有限公司總裁顧家暉先生、電鏡營(yíng)業(yè)部部長(zhǎng)刁雪蓮女士一行蒞臨西努光學(xué)參觀指導(dǎo)，也就近年來(lái)在日立電鏡產(chǎn)品的市場(chǎng)合作開(kāi)拓等方面進(jìn)行了友好交流。

日立科學(xué)儀器有限公司進(jìn)入中國(guó)已有57年，業(yè)務(wù)包括納米技術(shù)解決方案、分析解決方案及產(chǎn)業(yè)解決方案。其中，納米技術(shù)解決方案集中和強(qiáng)化了電子束技術(shù)， 開(kāi)創(chuàng)了面向半導(dǎo)體整體解決方案和新材料技術(shù)領(lǐng)域的新應(yīng)用。

在眾多產(chǎn)品中，Regulus系列是日立引以為傲的超高分辨率冷場(chǎng)掃描電子顯微鏡，分辨率高達(dá)0.6nm@15kV，0.7nm@1kV，它優(yōu)異的低加速電壓性能滿(mǎn)足半導(dǎo)體客戶(hù)不噴金直接觀察導(dǎo)電性差的分析樣品需求；同時(shí)新升級(jí)的光學(xué)系統(tǒng)使得束流可達(dá)20nA以上，打破了冷場(chǎng)電鏡不能做EBSD(電子背散射衍射)的桎梏；ExB核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)信號(hào)的高效探測(cè)，與轉(zhuǎn)換電極結(jié)合允許進(jìn)行信號(hào)選擇，同一個(gè)探測(cè)器既可以探測(cè)二次電子獲取的形貌像，也可以探測(cè)背散射電子獲取成分襯度像，還可以進(jìn)行信號(hào)混合采集。 

超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000專(zhuān)門(mén)為電子束敏感樣品和需*大300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀察的14nm以下先進(jìn)半導(dǎo)體器件高分辨成像所設(shè)計(jì)。新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能，分辨率高達(dá)0.4 nm / 30 kV (SE)，1.2 nm / 1 kV (SE)，0.34 nm / 30 kV (STEM)。并使用改良的高真空性能和電子束穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。

西努光學(xué)自2003年成立以來(lái)，始終致力于以“以光學(xué)及圖像算法為核心，為用戶(hù)提供檢測(cè)解決方案”推動(dòng)智能檢測(cè)裝備的轉(zhuǎn)型升級(jí)，公司將顯微光學(xué)成像技術(shù)以及圖像算法應(yīng)用于檢測(cè)技術(shù)，幫助工業(yè)企業(yè)、科研高校等客戶(hù)實(shí)現(xiàn)智能化檢測(cè)發(fā)展，產(chǎn)品功能涵蓋缺陷檢測(cè)、智能制造、實(shí)驗(yàn)室理化解決方案等多個(gè)領(lǐng)域。近年來(lái)隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)蓬勃發(fā)展，西努光學(xué)結(jié)合自身優(yōu)勢(shì)，不斷探索，現(xiàn)已為多家企業(yè)提供完善的半導(dǎo)體生產(chǎn)及失效分析整體解決方案。