目錄:上海西努光學(xué)科技有限公司>>工業(yè)顯微鏡>>測量顯微鏡>> MX51工業(yè)檢測半導(dǎo)體顯微鏡
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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MX51工業(yè)檢測半導(dǎo)體顯微鏡 詳細(xì)介紹:
考慮了檢查效率的設(shè)計(jì) 高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄 | MX51主要操作部件集中在前面,操作人員易于操作,即使長時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器,可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。 |
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 | 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時(shí)間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī),在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場中心附近偏離。 |
鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系 多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容,可按照用途選用。另外,波像差控制帶來的高品質(zhì),忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等,UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
觀察影像實(shí)例
明視場觀察 | 暗視場觀察 | 微分干涉觀察 | 熒光觀察 |
豐富的產(chǎn)品陣容,可按需選擇
MPLAPON 平場復(fù)消色差透鏡 MPLFLN 平場半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場用平場半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN 長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN-BD 明暗視場用長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡
MPLN 平場消色差透鏡
MPLN-BD 明暗視場用平場消色差透鏡
SLMPLN 超長工作距離平場消色差透鏡
LCPLFLN-LCD 液晶長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡
MX51工業(yè)檢測半導(dǎo)體顯微鏡軟件方案
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元
由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,備有各種對應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
近紅外線觀察單元 | 近紅外線觀察 |
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
熒光鏡單元 | 熒光觀察 |
透射照明單元
透射照明單元 | 對應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載,實(shí)現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA(數(shù)值孔徑)的B型號(hào)兩種型號(hào)。 |
規(guī)格 | |||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | ||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 明暗視場反射照明管(明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光) | ||
通用反射照明管(明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光) | |||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||
對焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||
zui大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場微分干涉6孔 | |
明暗視場微分干涉5孔 | |||
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||
明暗視場微分干涉6孔 | |||
手動(dòng)式 | 明視場5孔 | ||
明視場微分干涉6孔 | |||
明視場微分干涉中心輸出6孔 | |||
明視場微分干涉7孔 | |||
明暗視場5孔 | |||
明暗視場微分干涉5孔 | |||
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||
明暗視場微分干涉6孔 | |||
載物臺(tái) | 行程 | 6×6英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm (透射照明范圍100×100 mm) | |
4×4英寸右下(左下)手柄: 100(X)×105(Y)mm?。ㄍ干湔彰鞣秶?6×96 mm) | |||
觀察筒 | 廣角視場(視場數(shù)22) | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場(視場數(shù)26.5) | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | IR單元/自動(dòng)裝載 | ||
外形尺寸 | 430(W)×591(D)×495(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合) | ||
重量 | 26 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)