掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s，縮短了檢查時間
測定晶圓等大樣品時，掃描儀的掃描速度對測定時間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2，這樣，測定時間縮短了25%*2。 除了加減速時，掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過新設計的高剛性框架抑制裝置的振動，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。
考慮了設置場所、作業(yè)性的裝備
考慮在潔凈室內(nèi)的使用的情況，掃描儀的門采用上彈方式，同時，作為門的選購件，還準備了防靜電型透明板，提高了防塵性。
為了設置樣品、維護設備時可順暢拆裝臺面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開。
本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。
本體電源ON就可進行升降機的升降操作。不用啟動FineSAT軟件就可動作。
標準裝備便攜控制器。 以往，移動掃描儀內(nèi)的探頭時，要用鼠標或鍵盤操作顯示器畫面內(nèi)的按鈕，來回移動視線，查看、操作探頭和監(jiān)視器或鍵盤。 如果使用便攜控制器，不用離開視線，就可對探頭位置進行微調(diào)整。
配備23英寸顯示器，大幅提高數(shù)據(jù)解析等的視認性、作業(yè)性。
可選擇雙顯示器。
*1GUIPC為選購件的情況。
*2與本公司以往機型相比，因條件而有所不同。
*3因測定條件不同，最大掃描速度可能受到限制。
采用的64bit處理系統(tǒng)，大幅強化解析功能。
■ 高分辨率波形顯示
能將超聲波的測定時間單位設定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不斷細微化、多層化的電子裝置的薄層內(nèi)的缺陷、層間剝離的檢測、深度位置信息的精度提高。
■ 多焦點
通過掃描時連續(xù)改變焦點位置的功能，1次測定就可獲得對焦不同的多個深度的圖像，所以能防止漏看缺陷。
■ 多閘門縮略圖顯示
對于通過多閘門測定的多個不同信息的圖像，可生成縮略圖，轉(zhuǎn)換為容易選擇的一覽顯示。縮略圖圖像可單獨變更調(diào)色板。
■ 覆蓋物顯示(反射圖像/透射圖像重疊)
可重疊顯示通過反射法/透射法同時測定取得的2個圖像。另外，對于顯示的圖像，可調(diào)整透明度，所以可設定為容易判斷的圖像。
■ 作為選購件，準備了圖像銳化、體積圖像、孔隙瀏覽器等軟件
可與圖像銳化軟件（對超聲波信號劣化進行補正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測定后將收集的波形數(shù)據(jù)解析為測定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進行合格與否判定、統(tǒng)計處理）等高度的解析軟件組合。
■ 追隨掃描功能
這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓、扭曲的被檢體。
掃描時可追隨被檢體的表面。
規(guī)格：
| | FSP8Ⅴ | FSP12Ⅴ |
|---|
| 探頭頻率（MHz） | 5～200 | 5～300 |
|---|
| 最高頻率（MHz） | 500 |
|---|
| 有效行程（X×Y×Z）?。╩m） | 350×350×80 |
|---|
| 最大掃描速度（mm/s） | 2,000 |
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| 最多測定點數(shù)（點） | 標準：4億
GUIPC選購件時：20億 |
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| 外形尺寸（W×H×D）?。╩m） | 1,590×1,300×940（門關(guān)閉狀態(tài)） |
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| 質(zhì)量（kg） | 約470 |
|---|
| 電源（電壓/電流/頻率） | AC100V/15A/ 50/60Hz |
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*特殊規(guī)格請咨詢。還備有英語版軟件。
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